Thickness and density evaluation for nanostructured thin films by glancing angle deposition

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DOITrouver le DOI : http://doi.org/10.1116/1.2131079
AuteurRechercher : ; Rechercher : ; Rechercher : ; Rechercher : ; Rechercher : ; Rechercher : ; Rechercher :
TypeArticle
Titre de la revueJournal of Vacuum Science & Technology B
Volume23
Numéro6
Pages25452552; nbre. de pages : 8
Date de publication
AffiliationInstitut des sciences des microstructures du CNRC; Conseil national de recherches Canada
Publications évaluées par des pairsNon
Numéro NPARC12743771
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Identificateur de l’enregistrement6e7de59d-2ce7-46cd-8ac4-431d83f19b90
Enregistrement créé2009-10-27
Enregistrement modifié2016-05-09
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