Synthesis of amorphous silicon carbonitride films by pulsed laser deposition

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DOITrouver le DOI : http://doi.org/10.1016/S0040-6090(01)01673-X
AuteurRechercher : ; Rechercher : ; Rechercher : ; Rechercher : ; Rechercher :
TypeArticle
Titre de la revueThin Solid Films
Volume402
Numéro1-2
Pages99110; nbre. de pages : 12
Date de publication
AffiliationInstitut des sciences des microstructures du CNRC; Conseil national de recherches Canada; Institut des étalons nationaux de mesure du CNRC
Publications évaluées par des pairsNon
Numéro NPARC12743923
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Identificateur de l’enregistrement9d2e3fd0-565f-4390-9d85-36162be86bfd
Enregistrement créé2009-10-27
Enregistrement modifié2016-05-09
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